EBSD パターン明瞭度を用いたリン注入4H-SiC 層の結晶性評価
EBSD パターン明瞭度を用いたリン注入4H-SiC 層の結晶性評価
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使用 EBSD 图案清晰度评估磷注入 4H-SiC 层的结晶度
DOI：
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发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
東清一朗
中科院分区：
文献类型：
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作者：
花房宏明;丸山佳祐;林 将平;東清一朗
