Threading Dislocation Reduction of Sputter-deposited AlN/sapphire by High-Temperature Annealing
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通过高温退火减少溅射沉积 AlN/蓝宝石的螺纹位错
DOI：
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发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
and S. Kuboya
中科院分区：
文献类型：
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作者：
H. Miyake;K. Shojiki;K. Uesugi;S. Xiao;H. Koizumi;and S. Kuboya
