プラズマ溶射中の曲率履歴計測による皮膜残留応力の成膜速度依存の検討
プラズマ溶射中の曲率履歴計測による皮膜残留応力の成膜速度依存の検討
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通过测量等离子喷涂过程中的曲率历史来检查薄膜残余应力的薄膜沉积速率依赖性
DOI:
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发表时间:
2022
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
藤井悠大,脇 裕之,足立寛太
中科院分区:
文献类型:
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作者:
Wang Qinghua;Ri Shien;Xia Peng;藤井悠大,脇 裕之,足立寛太