H.Matsuhashi, et al: "Mirror-Like Surface Morphology of CVD-Al on TiN by CIF_3 Pretreatment" Advanced Materiallization for ULSI Applications in 1995, Tokyo. (1995)
H.Matsuhashi, et al: "Mirror-Like Surface Morphology of CVD-Al on TiN by CIF_3 Pretreatment" Advanced Materiallization for ULSI Applications in 1995, Tokyo. (1995)
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H.Matsuhashi 等人：“通过 CIF_3 预处理在 TiN 上实现 CVD-Al 的镜面形貌”，用于 ULSI 应用的先进材料化，1995 年，东京。
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