Cuプラグに適用可能なTiHfN合金膜のバリヤ特性
Cuプラグに適用可能なTiHfN合金膜のバリヤ特性
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适用于Cu塞的TiHfN合金薄膜的阻隔性能
DOI：
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发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
武山真弓
中科院分区：
文献类型：
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作者：
佐藤勝;青柳英二;野矢厚;武山真弓
