Plasma CVD of a-C:H films as protective layers for solar cells (Invited)
Plasma CVD of a-C:H films as protective layers for solar cells (Invited)
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等离子体 CVD 制备 a-C:H 薄膜作为太阳能电池保护层（特邀）
DOI：
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发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Y. Setsuhara
中科院分区：
文献类型：
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作者：
M. Shiratani;T. Fang;K. Yamaki;K. Koga;D. Yamashita;H. Seo;N. Itagaki;K. Takenaka;Y. Setsuhara
