RESIDUAL STRESS ESTIMATION IN SIC WAFER USING IR POLARIS COPE
RESIDUAL STRESS ESTIMATION IN SIC WAFER USING IR POLARIS COPE
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使用 IR POLARIS COPE 估算 SIC 晶圆中的残余应力
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Yasushi Niitsu
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Kenji Gomi;Kensuke Ichinose;Yasushi Niitsu
