Direct writing laser lithography for production of micro structures
Direct writing laser lithography for production of micro structures
复制标题
用于生产微结构的直写激光光刻
DOI：
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发表时间：
1987
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
C. Rensch
中科院分区：
文献类型：
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作者：
H. Ulrich;R. Wijnaendts;C. Rensch
