カソーディックアークプラズマ蒸着を用いたコンビナトリアルマテリアル合成I

カソーディックアークプラズマ蒸着を用いたコンビナトリアルマテリアル合成I
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使用阴极电弧等离子体沉积的组合材料合成 I

DOI:
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发表时间:
2005
期刊:
2005年秋季 第66回応用物理学会学術講演会予稿集
影响因子:
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通讯作者:
下河邉 明
下河邉 明
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
秦 誠一;山内隆介;桜井淳平;下河邉 明

文献摘要

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