K.Ogai,S.Matsui,Y.Kimura,R.Shimizu: "An Approach for Nanolithography Using Electron Holograpy" Japan J. Appl.Phys.32. 5988-5992 (1993)

K.Ogai,S.Matsui,Y.Kimura,R.Shimizu: "An Approach for Nanolithography Using Electron Holograpy" Japan J. Appl.Phys.32. 5988-5992 (1993)
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K.Ogai、S.Matsui、Y.Kimura、R.Shimizu:“使用电子全息技术的纳米光刻方法”Japan J. Appl.Phys.32。

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