広視野レーザ干渉計を用いた円筒表面におけるナノレベル形状測定の再現性
広視野レーザ干渉計を用いた円筒表面におけるナノレベル形状測定の再現性
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使用宽视场激光干涉仪对圆柱表面进行纳米级形状测量的再现性
DOI：
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发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
笹崎 康則，渡辺 敏博，月山 陽介，新田 勇
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Masahiko Yoshino;Satoshi Nakajima;Motoki Terano;笹崎 康則，渡辺 敏博，月山 陽介，新田 勇
