Y.Takaki,Y.Setsuhara,S.Miyake,M.Kumagai,Y.Sakawa and T.Shoji: "Formation of Superhard Nitride Films by High-Density Helicon-Plasma Sputtering"Proceedings of the 17th Symposiym on Plasma Processing. 383-386 (2000)
Y.Takaki,Y.Setsuhara,S.Miyake,M.Kumagai,Y.Sakawa and T.Shoji: "Formation of Superhard Nitride Films by High-Density Helicon-Plasma Sputtering"Proceedings of the 17th Symposiym on Plasma Processing. 383-386 (2000)
复制标题
Y.Takaki、Y.Setsuhara、S.Miyake、M.Kumagai、Y.Sakawa 和 T.Shoji：“通过高密度螺旋等离子体溅射形成超硬氮化物薄膜”第 17 届等离子体处理研讨会论文集。
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
