Simulated Nanotribological Properties of Opposing Si Tips in MEMS
Simulated Nanotribological Properties of Opposing Si Tips in MEMS
复制标题
MEMS 中相对硅尖端的模拟纳米摩擦学特性
DOI：
--
复制
发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
Masashi Oguma
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
村上修一;平原徹;松田巌;Masashi Oguma
