水素雰囲気異方性熱エッチング(HEATE)法によるHVPE-In2O3成長層のエッチング特性評価
水素雰囲気異方性熱エッチング(HEATE)法によるHVPE-In2O3成長層のエッチング特性評価
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使用氢气氛各向异性热蚀刻（HEATE）方法评估 HVPE-In2O3 生长层的蚀刻特性
DOI：
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发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
菊池 昭彦
中科院分区：
文献类型：
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作者：
富樫 理恵;笠羽 遼;大江 優輝;長井 研太;後藤 健;熊谷 義直;菊池 昭彦
