松橋 秀樹: "選択Al-CVD技術におけるプラズマレスClF_3表面クリーニング(II)" 1995年秋季第56回応用物理学会学術講演会(1995年8月). 26p-ZQ-12 (1995)
松橋 秀樹: "選択Al-CVD技術におけるプラズマレスClF_3表面クリーニング(II)" 1995年秋季第56回応用物理学会学術講演会(1995年8月). 26p-ZQ-12 (1995)
复制标题
Hideki Matsuhashi：“选择性Al-CVD技术中的Plasmaless ClF_3表面清洁（II）”1995年秋季第56届日本应用物理学会学术会议（1995年8月26p-ZQ-12）。
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
