基板付き薄膜共振子の電磁結合信号もしくは音響信号を用いた変換損 kt2評価法の比較
基板付き薄膜共振子の電磁結合信号もしくは音響信号を用いた変換損 kt2評価法の比較
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使用电磁耦合信号或声信号对带基板的薄膜谐振器的转换损耗 kt2 评估方法的比较
DOI：
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发表时间：
2020
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
柳谷隆彦
中科院分区：
文献类型：
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作者：
龍見亮汰;柳谷隆彦
