Atomistic Picture of Silicon Oxidation Process ; Beyond the Deal-Grove Model(Invited talk)
Atomistic Picture of Silicon Oxidation Process ; Beyond the Deal-Grove Model(Invited talk)
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硅氧化过程的原子图；
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
渡邉孝信
中科院分区：
文献类型：
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作者：
石川誠;佐々木成朗;三浦浩治;渡邉孝信
