Cu薄膜の粒成長に及ぼす基板の影響
Cu薄膜の粒成長に及ぼす基板の影響
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衬底对Cu薄膜晶粒生长的影响
DOI:
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发表时间:
2012
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
圓谷哲紀,江口大貴,永野隆敏,篠嶋妥
中科院分区:
文献类型:
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作者:
K. Tadatomo;K. Yamane;N. Okada;H. Furuya;and Y. Hashimoto;圓谷哲紀,江口大貴,永野隆敏,篠嶋妥