S.Kikkawa,M.Takahashi X.Gu,F.Kanamaru,S.Katayama,M.Koizumi: "RFーSputter Deposition of Boron Nitride Thin Film" Nuclear Instruments and Methods in Physics Research,Sec.B.
S.Kikkawa,M.Takahashi X.Gu,F.Kanamaru,S.Katayama,M.Koizumi: "RFーSputter Deposition of Boron Nitride Thin Film" Nuclear Instruments and Methods in Physics Research,Sec.B.
复制标题
S. Kikkawa、M. Takahashi X. Gu、F. Kanamaru、S. Katayama、M. Koizumi：“氮化硼薄膜的射频溅射沉积”核仪器和物理研究方法，Sec.B。
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
