Design Methodology for La2O_3-Based Ternary Higher-k Dielectrics

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La2O_3基三元高k电介质的设计方法

DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
Extended Abstracts of 2005 International Conference on Solid State Devices and Materials 2005
影响因子：
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通讯作者：
A.Toriumi
A.Toriumi
中科院分区：
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文献类型：
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作者：
K.Kita;Yi Zhao;Y.Yamamoto;K.Kyuno;A.Toriumi

文献摘要

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