S.Kiyohara,Y.Yagi,K.Mori: "Plasma Etching of CVD Diamond Films Using an ECR-type Oxygen Source"Nano technology. 10巻・4号. 385-388 (1999)
S.Kiyohara,Y.Yagi,K.Mori: "Plasma Etching of CVD Diamond Films Using an ECR-type Oxygen Source"Nano technology. 10巻・4号. 385-388 (1999)
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S.Kiyohara、Y.Yagi、K.Mori：“使用 ECR 型氧源等离子蚀刻 CVD 金刚石薄膜”纳米技术，第 10 卷，第 4 期。385-388 (1999)
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