中野 誠彦,西村 幹郎,山口 由起夫,真壁 利明: "Theoretical Radical Density Distribution in CH_4 RF Glow Discharges" Proceedings of the 8th symposium on Plasma Processing. 1. 167-170 (1991)
中野 誠彦,西村 幹郎,山口 由起夫,真壁 利明: "Theoretical Radical Density Distribution in CH_4 RF Glow Discharges" Proceedings of the 8th symposium on Plasma Processing. 1. 167-170 (1991)
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Masahiko Nakano、Mikio Nishimura、Yukio Yamaguchi、Toshiaki Makabe：“CH_4 RF 辉光放电中的理论自由基密度分布”第八届等离子体处理研讨会论文集 1. 167-170 (1991)。
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