M.Esashi, Y.Matsumoto, S.Shoji: "Absolute Pressure Sensors by Air-tight Electrical Feedthrough Structure" Sensors and Actuators Vol.20 (A), (1990).
M.Esashi, Y.Matsumoto, S.Shoji: "Absolute Pressure Sensors by Air-tight Electrical Feedthrough Structure" Sensors and Actuators Vol.20 (A), (1990).
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M.Esashi、Y.Matsumoto、S.Shoji：“气密电气馈通结构的绝对压力传感器”传感器和执行器第 20 卷 (A)，(1990)。
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