Effects of magnetic field on the secondary electron asymmetry effect in capacitively coupled plasmas
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DOI：
10.1063/5.0068101
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发表时间：
2021-12
影响因子：
2.2
通讯作者：
Shali Yang;Tianxiang Zhang;H. Lin;Hao Wu;Qiang Zhang
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Shali Yang;Tianxiang Zhang;H. Lin;Hao Wu;Qiang Zhang
