スパッタリングガラス薄膜の濡れ性に及ぼすターゲットガラスの分相化の影響

スパッタリングガラス薄膜の濡れ性に及ぼすターゲットガラスの分相化の影響
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靶材玻璃相分离对溅射玻璃薄膜润湿性的影响

DOI:
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发表时间:
2019
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
春日敏宏
春日敏宏
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
酒井智幸;前田浩孝;春日敏宏

文献摘要

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