CF4支援反応性スパッタ法による La1-xBaxF3-xエピタキシャル薄膜作製とF-伝導特性評価
CF4支援反応性スパッタ法による La1-xBaxF3-xエピタキシャル薄膜作製とF-伝導特性評価
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CF4辅助反应溅射La1-xBaxF3-x外延薄膜的制备及F电导性能评价
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
一杉太郎
中科院分区：
文献类型：
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作者：
深津圭佑;清水亮太;大井あすか;小林成;西尾和記;一杉太郎
