Tri-state multi-contact lateral MEMS relay with high mechanical reliability
Tri-state multi-contact lateral MEMS relay with high mechanical reliability
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具有高机械可靠性的三态多触点横向 MEMS 继电器
DOI：
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发表时间：
2006
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
S.
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Yamada;S.
