放电等离子体极紫外光源中的主脉冲电源
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DOI：
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发表时间：
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期刊：
影响因子：
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通讯作者：
贾兴
中科院分区：
文献类型：
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作者：
吕鹏;刘春芳;张潮海;赵永蓬;王骐;贾兴
