気相精密大量合成とソフトランディング法による超原子ナノクラスター集積膜の作製とその電気特性評価
気相精密大量合成とソフトランディング法による超原子ナノクラスター集積膜の作製とその電気特性評価
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气相精密质量合成和软着陆法制备超原子纳米团簇集成薄膜及其电性能评价
DOI：
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
中嶋 敦
中科院分区：
文献类型：
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作者：
横山高穂;千葉竜弥;平田直之;渋田昌弘;中嶋 敦
