Strongly enhanced second-order optical nonlinearity in CMOS-compatible Al 1−x Sc x N thin films
Strongly enhanced second-order optical nonlinearity in CMOS-compatible Al 1−x Sc x N thin films
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CMOS 兼容的 Al 1–x Sc x N 薄膜中二阶光学非线性得到显着增强
DOI：
10.1063/5.0061787
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
6.1
通讯作者：
Zhen, Bo
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Yoshioka, Valerie;Lu, Jian;Tang, Zichen;Jin, Jicheng;Olsson, Roy H.;Zhen, Bo
