PIC-MCC法によるArおよびHe直流放電生成用陰極への照射粒子エネルギー分布計算
PIC-MCC法によるArおよびHe直流放電生成用陰極への照射粒子エネルギー分布計算
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采用PIC-MCC法计算Ar、He直流放电发生阴极的粒子能量分布
DOI:
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发表时间:
2014
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
伊藤剛仁
中科院分区:
文献类型:
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作者:
近藤崇博;伊藤剛仁