Wei Gao, Peisen S.Huang, Tomohiko Yamada, Satoshi Kiyono: "Flatness metrology of large silicon wafer using an absolute error separation technique"Proceedings of 2nd enspen Int. Conf. 430-433 (2001)
Wei Gao, Peisen S.Huang, Tomohiko Yamada, Satoshi Kiyono: "Flatness metrology of large silicon wafer using an absolute error separation technique"Proceedings of 2nd enspen Int. Conf. 430-433 (2001)
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Wei Gau、Peisen S.Huang、Tomohiko Yamada、Satoshi Kiyono：“使用绝对误差分离技术的大硅片平面度测量”第二届 enspen Int. 论文集。
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