反応性プラズマ環境下の斜め堆積法による微細構造化薄膜の作製
反応性プラズマ環境下の斜め堆積法による微細構造化薄膜の作製
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反应等离子体环境下倾斜沉积法制备微结构薄膜
DOI：
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发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
高井治
中科院分区：
文献类型：
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作者：
井上泰志;高井治
