薄膜ネオジム磁石の交番着磁とそれを用いた MEMS リニアモータの試作
薄膜ネオジム磁石の交番着磁とそれを用いた MEMS リニアモータの試作
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薄膜钕磁体的交变磁化以及使用它的原型 MEMS 线性电机
DOI：
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发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
藤原 閲夫
中科院分区：
文献类型：
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作者：
藤原 良元;石橋 正登;進士 忠彦;上原 稔;堀 充孝;藤原 閲夫
