Roundness correction processing with nanometer order accuracy
Roundness correction processing with nanometer order accuracy
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纳米级精度的圆度校正处理
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Hidekazu Mimura
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Yoshinori Takei;Hidekazu Mimura
