フレキシブル基板上での単結晶シリコンCMOSトランジスタの作製

フレキシブル基板上での単結晶シリコンCMOSトランジスタの作製
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柔性衬底上单晶硅CMOS晶体管的制作

DOI:
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发表时间:
2015
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
東 清一郎
東 清一郎
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
酒池 耕平;中川 明俊;赤澤 宗樹;東 清一郎

文献摘要

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