タルボット効果を用いた広範囲3次元リソグラフィ(第3報) -高分子膜への構造転写手法の開発-
タルボット効果を用いた広範囲3次元リソグラフィ(第3報) -高分子膜への構造転写手法の開発-
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利用塔尔博特效应的大范围三维光刻（第3次报告） -高分子膜结构转移方法的开发-
DOI：
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发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
江崎隆，水谷康弘，金子新，牧浦良彦，横田博，高谷裕浩
中科院分区：
文献类型：
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作者：
坂野文香;小木曽望;田中宏明;岩佐貴史;小布施 秀明;江崎隆，水谷康弘，金子新，牧浦良彦，横田博，高谷裕浩
