In situ characterization of Mn and Fe silicide islands on silicon
In situ characterization of Mn and Fe silicide islands on silicon
复制标题
硅上锰和铁硅化物岛的原位表征
DOI：
10.1016/s0039-6028(03)00213-9
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发表时间：
2003
期刊：
影响因子：
1.9
通讯作者：
K. Furuya
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Miyoko Tanaka;Qi Zhang;M. Takeguchi;K. Furuya
