Development of high-precision figure measurement system for x-ray optics using laser focus microscope
Development of high-precision figure measurement system for x-ray optics using laser focus microscope
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激光聚焦显微镜X射线光学高精度图形测量系统的开发
DOI：
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发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Jangwoo Kim
中科院分区：
文献类型：
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作者：
石倉徳洋;馬場俊彦;植松祐輝;K. Umeda;櫻井良祐・渡辺匠・唐沢かおり;Jangwoo Kim
