Z. Jin, T. Hashizume, H. Hasegawa: "Effects of nitrogen addition on methan-based EGR plasma etching of gallium nitride"Appl. Sur. Sci.. (in press).
Z. Jin, T. Hashizume, H. Hasegawa: "Effects of nitrogen addition on methan-based EGR plasma etching of gallium nitride"Appl. Sur. Sci.. (in press).
复制标题
Z. Jin、T. Hashizume、H. Hasekawa：“氮添加对氮化镓甲烷基 EGR 等离子体蚀刻的影响”Appl。
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
