富永喜久雄: "Behavior of Energetic O^-Ions and O Atoms in Sputtering of Oxide Target" Proc,2nd.Int'l Symp.on ISSP'93,Tokyo. 183-188 (1993)
富永喜久雄: "Behavior of Energetic O^-Ions and O Atoms in Sputtering of Oxide Target" Proc,2nd.Int'l Symp.on ISSP'93,Tokyo. 183-188 (1993)
复制标题
Kikuo Tominaga：“氧化物靶材溅射中高能 O^-离子和 O 原子的行为”Proc，2nd.Intl Symp.on ISSP93，东京。
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
