SiC表面上への微細構造形成プロセスに関する研究-微細溝構造の形成-
SiC表面上への微細構造形成プロセスに関する研究-微細溝構造の形成-
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SiC表面微结构形成过程研究 - 微槽结构的形成 -
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
山内和人
中科院分区：
文献类型：
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作者：
久保田章亀;宮本士郎;濟陽崇志;安井平司;山内和人
