ウッドカーボンスパッタリングによる成膜と装置最適化のためのXPS分析
ウッドカーボンスパッタリングによる成膜と装置最適化のためのXPS分析
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通过木碳溅射成膜和 XPS 分析以优化设备
DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
今村祐嗣
中科院分区：
文献类型：
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作者：
菊池 光;畑 俊充;今村祐嗣
