Photoresist removal using hydrogen radicals produced by tantalum hot-wire catalyst
Photoresist removal using hydrogen radicals produced by tantalum hot-wire catalyst
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利用钽热丝催化剂产生的氢自由基去除光刻胶
DOI：
10.1063/1.5124640
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发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Horibe Hideo
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Yamamoto Masashi;Shiroi Tomohiro;Shikama Tomokazu;Nagaoka Shiro;Horibe Hideo
