大塚二郎・飯田昇・川瀬佳洋・秋野良平・深田茂生: "ねじ駆動による超精密位置決め(第3報)-ナノメータ精度位置決めと整定時間の短縮" 精密工学会誌. 59. 1655-1661 (1993)
大塚二郎・飯田昇・川瀬佳洋・秋野良平・深田茂生: "ねじ駆動による超精密位置決め(第3報)-ナノメータ精度位置決めと整定時間の短縮" 精密工学会誌. 59. 1655-1661 (1993)
复制标题
Jiro Otsuka、Noboru Iida、Yoshihiro Kawase、Ryohei Akino 和 Shigeo Fukada：“通过丝杠驱动进行超精密定位（第 3 次报告）- 纳米级精密定位和缩短稳定时间”日本精密工程学会杂志 59. 1655。 -1661 (1993)
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
