ELO-GaNにおける転位挙動の解析とマスクサイズの最適化に関する検討
ELO-GaNにおける転位挙動の解析とマスクサイズの最適化に関する検討
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ELO-GaN位错行为分析及掩模尺寸优化研究
DOI:
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发表时间:
2008
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
平松和政
中科院分区:
文献类型:
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作者:
江崎哲也;桑野範之;三宅秀人;平松和政