ELO-GaNにおける転位挙動の解析とマスクサイズの最適化に関する検討

ELO-GaNにおける転位挙動の解析とマスクサイズの最適化に関する検討
复制标题

ELO-GaN位错行为分析及掩模尺寸优化研究

DOI:
--
复制
发表时间:
2008
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
平松和政
平松和政
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:
江崎哲也;桑野範之;三宅秀人;平松和政

文献摘要

相似文献