Visualization and numerical simulation of fine particle transport in a low-pressure parallel plate chemical vapor deposition reactor
Visualization and numerical simulation of fine particle transport in a low-pressure parallel plate chemical vapor deposition reactor
复制标题
低压平行板化学气相沉积反应器中细颗粒传输的可视化和数值模拟
DOI：
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发表时间：
2002
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
K. Okuyama
中科院分区：
文献类型：
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作者：
H. Setyawan;M. Shimada;Kenji Ohtsuka;K. Okuyama
