TiAlON系薄膜材料的椭偏研究
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DOI：
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发表时间：
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期刊：
影响因子：
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通讯作者：
徐英莹
中科院分区：
文献类型：
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作者：
杜淼;张静;陈赤;郝雷;刘文德;樊其明;徐英莹
