マイクロミラー設計に向けた厚膜フォトレジストSU-8の粘弾性特性評価
マイクロミラー設計に向けた厚膜フォトレジストSU-8の粘弾性特性評価
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用于微镜设计的厚膜光刻胶 SU-8 的粘弹性特性评估
DOI：
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发表时间：
2004
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
瀧尾健一
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Y.Mizugaki;H.Shimada;T.Fujita;T.Fujita et al.;T.Namazu;T.Namazu et al.;瀧尾健一
