H.Matsuhashi, et al: "Resistivity of CVD Al on TiN Pretreated with CIF_3" Extended Abstracts (The 43rd Spring Meeting, 1995) ; The Japan Society of Applied Physics and Related Societies. 27a-K-9.
H.Matsuhashi, et al: "Resistivity of CVD Al on TiN Pretreated with CIF_3" Extended Abstracts (The 43rd Spring Meeting, 1995) ; The Japan Society of Applied Physics and Related Societies. 27a-K-9.
复制标题
H.Matsuhashi 等人：“用 CIF_3 预处理的 TiN 上的 CVD Al 的电阻率”扩展摘要（第 43 届春季会议，1995 年）；
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
